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标签：扩晶机操作注意事项

• 扩晶机操作中的关键注意事项及常见误区解析
  扩晶机是半导体集成电路制造过程中不可或缺的设备，主要用于晶圆的扩径加工。在操作扩晶机时，了解其工作原理和操作流程至关重要。扩晶机通过高温高压处理，使晶圆表面形成一定厚度的氧化层，从而实现晶圆的扩径。
  2026-06-26